海德漢4100V系列絕對式直線光柵尺技術(shù)參數(shù)：

測量長度:標(biāo)準(zhǔn)玻璃光柵尺測量長度可達(dá)3 m。如需更長行程,可選配不銹鋼帶狀尺,與導(dǎo)軌型材配合安裝,測量長度可擴展至約28 m 。分辨率:最小測量步距達(dá)1 nm(0.001 µm) 。

精度等級:在3 m以內(nèi)玻璃尺情況下系統(tǒng)精度典型可達(dá)±3 µm;使用低熱膨脹的微晶玻璃刻尺時精度最高可提升至約±1 µm(限長度≤1.64 m) 。對于超長磁帶尺方案,精度約為±5 µm/米 。

真空等級:滿足高真空環(huán)境要求,可在真空度低至10^?7 mbar的環(huán)境下可靠運行 。

溫度范圍:工作溫度 ?10 °C~+50 °C;烘烤(脫氣)溫度最高 +100 °C 。

通信接口:提供 EnDat 2.2、Fanuc 05、三菱 Mit03、松下 Pana02、安川 YEC07 等多種接口型號,對應(yīng)不同數(shù)控系統(tǒng)和驅(qū)動器 。

供電要求:直流 3.6 V~14 V 寬范圍供電,5 V 時典型電流約 75 mA(功耗 ~0.4 W) 。

抗振動沖擊:可承受振動加速度 500 m/s2(55–2000 Hz)及沖擊加速度 1000 m/s2(6 ms) 。

防護等級:IP40(開放式結(jié)構(gòu),無額外密封) 。